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    Semiconductor Equipment
    半導(dǎo)體裝備
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    CST清洗設(shè)備
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    CST清洗設(shè)備

    所屬分類 : 半導(dǎo)體裝備
    wMBPURrcQS6U55ceJWTUzQ

    基本規(guī)格:

    -產(chǎn)品說明:清洗卡匣,確保卡匣在產(chǎn)線運(yùn)行的潔凈度;

    -適用范圍:G6 CST和G6 Half CST;

    -工藝流程:加載→玻璃和卡匣感應(yīng)檢測(cè)→熱DI高壓清洗→DI清洗→CDA風(fēng)機(jī)(風(fēng)干)→1#熱烘干→2#熱烘干→卡匣變形檢驗(yàn)→卸載;

    -干燥方式:卡匣在干燥室內(nèi)旋轉(zhuǎn)通過熱風(fēng)進(jìn)行烘干;

    -設(shè)備節(jié)拍:根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì);

    -產(chǎn)品定制:室體規(guī)格根據(jù)Cassette規(guī)格設(shè)計(jì);有一室/二室/三室等規(guī)格可選擇;


    金屬

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